基于深反应离子刻蚀的高深宽比微槽结构制造
基于深反应离子刻蚀的高深宽比微槽结构制造
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DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Jijun Xiong
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Maoxiang Guo;Xiujian Chou;Jiliang Mu;Bing Liu;Jijun Xiong
