マイクロコンタクト印刷によるレジストパターニング技術の開発
マイクロコンタクト印刷によるレジストパターニング技術の開発
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使用微接触印刷的抗蚀剂图案化技术的开发
DOI:
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发表时间:
2015
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
牛島 洋史
中科院分区:
文献类型:
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作者:
日下 靖之;牛島 洋史