フルオロカーボン薄膜の結合状態と物性評価
フルオロカーボン薄膜の結合状態と物性評価
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氟碳薄膜的键合状态及物性评价
DOI:
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发表时间:
2022
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
岡田 健
中科院分区:
文献类型:
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作者:
竹谷 透;岡田 健