有機シラン単分子レジストへの電子線照射効果の解析
有機シラン単分子レジストへの電子線照射効果の解析
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有机硅烷单分子光刻胶电子束辐照效果分析
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
大泊 巌
中科院分区：
文献类型：
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作者：
三宅丈雄;谷井孝至;加藤浩一;別府佑一;大泊 巌
