村原 正隆: "Resistless PhotoーEtching of Crystalline SiliconーCarbite by Excimer Laser" SPIE Proceedings. 1190. 136-141 (1989)
村原 正隆: "Resistless PhotoーEtching of Crystalline SiliconーCarbite by Excimer Laser" SPIE Proceedings. 1190. 136-141 (1989)
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Masataka Murahara：“准分子激光对晶体碳化硅的无抗蚀剂光蚀刻”SPIE 论文集 1190. 136-141 (1989)。
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