A.Ebe, Y.Setsuhara, N.Yamamoto, S.Baba, H.Inami, T.Shoji, S.Miyake: "Development of Meter-Scale Large-Area,Inductively Coupled Plasma Source with Multiple Low-Inductance Internal Antenna Units"Proc.16th International Symposium on the Plasma Chemistry, Tao
A.Ebe, Y.Setsuhara, N.Yamamoto, S.Baba, H.Inami, T.Shoji, S.Miyake: "Development of Meter-Scale Large-Area,Inductively Coupled Plasma Source with Multiple Low-Inductance Internal Antenna Units"Proc.16th International Symposium on the Plasma Chemistry, Tao
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A.Ebe、Y.Setsuhara、N.Yamamoto、S.Baba、H.Inami、T.Shoji、S.Miyake：“开发具有多个低电感内部天线单元的米级大面积电感耦合等离子体源
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