TiO2多結晶シード層導入によるアナターゼ型TaON薄膜のガラス基板上成長
TiO2多結晶シード層導入によるアナターゼ型TaON薄膜のガラス基板上成長
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引入TiO2多晶种子层在玻璃基板上生长锐钛矿型TaON薄膜
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
長谷川哲也
中科院分区：
文献类型：
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作者：
鈴木温;廣瀬靖;中尾祥一郎;長谷川哲也
