光熱変換効果による不透明多層膜厚計測技術(第1報)-単層膜を用いた共振波計測と粗面の高周波非接触振動計測技術-
光熱変換効果による不透明多層膜厚計測技術(第1報)-単層膜を用いた共振波計測と粗面の高周波非接触振動計測技術-
复制标题
利用光热转换效应的不透明多层膜厚度测量技术（第一次报告） - 使用单层膜的共振波测量和粗糙表面高频非接触振动测量技术 -
DOI：
--
复制
发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
小林宏明
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
奥田貴啓;石丸伊知郎;筒井宏光;藤井義樹;小林宏明
