安井利明: "シート状ECRプラズマの生成とそれを用いた反応性スパッタリング成膜" 真空. 40・3. (1997)
安井利明: "シート状ECRプラズマの生成とそれを用いた反応性スパッタリング成膜" 真空. 40・3. (1997)
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安井俊明：“片状 ECR 等离子体的生成以及使用它的反应溅射成膜”真空 40・3。
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