SiO2薄膜中の欠陥近傍における局所誘電率の異常増大

SiO2薄膜中の欠陥近傍における局所誘電率の異常増大
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SiO2 薄膜缺陷附近局部介电常数异常增大

DOI:
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发表时间:
2008
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
名取晃子
名取晃子
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
涌井貞一;中村淳;名取晃子

文献摘要

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