ボディ端子付きSOI-nMOSFETひずみセンサの作製と評価
ボディ端子付きSOI-nMOSFETひずみセンサの作製と評価
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带体端子的 SOI-nMOSFET 应变传感器的制作和评估
DOI:
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发表时间:
2007
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
神谷・原田・奥山・松下
中科院分区:
文献类型:
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作者:
本村文孝;今井康文;才本明秀;今井康文;本村文孝;楠田朋之;中島晃;本村文孝;本村文孝;本村文孝;木之下 博;大前 伸夫;木之下博;Nobuo Ohmae;Hiroshi Kinoshita;Hiroshi Kinoshita;和田剛典;高橋・原田・奥山・松下;原田・永井・高橋・奥山・松下;原田・神谷・石澤・奥山・松下;神谷・原田・奥山・松下