鈴木 雅史: "静電駆動型微小ム-バを用いたシリコンウェーハの摩擦計測" 静電気学会講演論文集. 179-180 (1993)
鈴木 雅史: "静電駆動型微小ム-バを用いたシリコンウェーハの摩擦計測" 静電気学会講演論文集. 179-180 (1993)
复制标题
Masashi Suzuki：“使用静电驱动微动装置进行硅晶片的摩擦测量”日本静电学会会议记录 179-180 (1993)。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
