RuO2 Deposition Using Supercritical Fluid Deposition (SCFD)
RuO2 Deposition Using Supercritical Fluid Deposition (SCFD)
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使用超临界流体沉积 (SCFD) 沉积 RuO2
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and Yukihiro Shimogaki
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Kyubong Jung;Takeshi Momose;and Yukihiro Shimogaki
