スパッタビーム堆積法により作製したAZO薄膜の特性の検討
スパッタビーム堆積法により作製したAZO薄膜の特性の検討
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溅射束沉积法制备的 AZO 薄膜的特性研究
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
星 陽一
中科院分区：
文献类型：
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作者：
下村健晴^1;本間拓也^1;佐藤 薫^1;清水英彦^1;岩野春男^1;星 陽一
