Bilayer-by-bilayer etching of 6H-GaN (0001) with Cl
Bilayer-by-bilayer etching of 6H-GaN (0001) with Cl
复制标题
Cl 双层逐双层蚀刻 6H-GaN (0001)
DOI：
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发表时间：
2004
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
S.Kuwano et al.
中科院分区：
文献类型：
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作者：
K.H.Wu et al.;S.Kuwano et al.
