Y.Gotoh: "Application of compact microwave ion source to low temperature growth of transition-metal nitride thin films for vacuum microelectronics devices"Review of Scientific Instruments. 71・2. 1002-1005 (2000)
Y.Gotoh: "Application of compact microwave ion source to low temperature growth of transition-metal nitride thin films for vacuum microelectronics devices"Review of Scientific Instruments. 71・2. 1002-1005 (2000)
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Y.Gotoh：“紧凑型微波离子源在真空微电子器件过渡金属氮化物薄膜的低温生长中的应用”科学仪器评论71・2（2000）。
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