Kojima T.,Kimura T.,Matsukata M.: "Development of Numerical Model for Reactions in Fuluidized Bed Grid Zone-Application to Chemical Vapor Deposition of Polycrystalline Silicon by Monosilane Pyrolisis-" Chemical Engineering Science. 45. 2527-2534 (1990)
Kojima T.,Kimura T.,Matsukata M.: "Development of Numerical Model for Reactions in Fuluidized Bed Grid Zone-Application to Chemical Vapor Deposition of Polycrystalline Silicon by Monosilane Pyrolisis-" Chemical Engineering Science. 45. 2527-2534 (1990)
复制标题
小岛T.，木村T.，松方M.：“流化床网格区域反应数值模型的开发-在甲硅烷热解化学气相沉积多晶硅中的应用-”化学工程科学。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
