Reduction of the C49→C54 phase transformation temperature in co-sputtered TiSi2 thin films by ternary alloying
Reduction of the C49→C54 phase transformation temperature in co-sputtered TiSi2 thin films by ternary alloying
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DOI：
10.1016/s0966-9795(03)00022-0
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发表时间：
2003-05
期刊：
影响因子：
4.4
通讯作者：
T. Hashimoto;H. Inui;Katsushi Tanaka;M. Yamaguchi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T. Hashimoto;H. Inui;Katsushi Tanaka;M. Yamaguchi
