平田 敦,多々見俊宏,柳瀬文典,吉川昌範: "ペニングイオン源を用いたプラズマCVD装置の試作" 精密工学会誌. 未定.
平田 敦,多々見俊宏,柳瀬文典,吉川昌範: "ペニングイオン源を用いたプラズマCVD装置の試作" 精密工学会誌. 未定.
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Atsushi Hirata、Toshihiro Tatami、Fuminori Yanase、Masanori Yoshikawa：“使用潘宁离子源的等离子体 CVD 装置的原型”日本精密工程学会杂志 待定。
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