VUVエリプソメトリーを用いたAlNの光学定数
VUVエリプソメトリーを用いたAlNの光学定数
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使用 VUV 椭圆光度法测定 AlN 的光学常数
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
平松和政
中科院分区：
文献类型：
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作者：
尾崎恭介;福井一俊;岩井浩紀;山本晃司;齋藤輝文;三宅秀人;平松和政
