ゾルゲル法によるIGZO均一膜の作製と安定剤の効果

ゾルゲル法によるIGZO均一膜の作製と安定剤の効果
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溶胶-凝胶法制备IGZO均匀薄膜及稳定剂的作用

DOI:
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发表时间:
2014
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
松尾琢朗・菅原徹・廣瀬由紀子・酒金婷・長尾至成・菅沼克昭
松尾琢朗・菅原徹・廣瀬由紀子・酒金婷・長尾至成・菅沼克昭
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
山本 崇史;赤堀 未来;夏井 敬介;栄長 泰明;松尾琢朗・菅原徹・廣瀬由紀子・酒金婷・長尾至成・菅沼克昭

文献摘要

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