大面積VHFプラズマ中の定在波測定

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大面积 VHF 等离子体中的驻波测量

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期刊:
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通讯作者:
廣井将平,牟田浩司,西田哲,栗林志頭眞
廣井将平,牟田浩司,西田哲,栗林志頭眞
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
千藤彰大,西田哲,牟田浩司,栗林志頭眞;兼松雅斗,西田哲,牟田浩司,栗林志頭眞;三和寛之,西田哲,牟田浩司,野々村修一,栗林志頭眞;岡田俊,牟田浩司,西田哲,栗林志頭眞;滝下裕基,牟田浩司,西田哲,栗林志頭眞;廣井将平,牟田浩司,西田哲,栗林志頭眞

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