佐藤徳芳: "成膜用プラズマの制御" 第6回ファインプロセステクノロジー・ジャパン '96セミナー. R5. 4-8 (1996)
佐藤徳芳: "成膜用プラズマの制御" 第6回ファインプロセステクノロジー・ジャパン '96セミナー. R5. 4-8 (1996)
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Noriyoshi Sato：“薄膜沉积的等离子体控制”第 6 届日本精细加工技术研讨会 R5 4-8 (1996)。
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