Nanoimprint Fabrication and Thermal Behavior of Atomically Ultrasmooth Glass Substrate with 0.2nm-Height Steps
Nanoimprint Fabrication and Thermal Behavior of Atomically Ultrasmooth Glass Substrate with 0.2nm-Height Steps
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0.2nm 高度台阶的原子级超光滑玻璃基板的纳米压印制造和热行为
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
M.Yoshimoto
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Y.Miyake;Y.Akita;H.Oi;M.Mita;S.Kaneko;K.Koyama;K.Sunagawa;K.Tada;Y.Hirai;M.Yoshimoto
