界面化学結合型熱ナノインプリントリソグラフィによる高分子薄膜の成型と金属薄膜の微細加工
界面化学結合型熱ナノインプリントリソグラフィによる高分子薄膜の成型と金属薄膜の微細加工
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使用界面化学键合热纳米压印光刻进行聚合物薄膜成型和金属薄膜微加工
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
中川勝
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Takeoka;Y.;斎藤拓;中川勝
