局在型表面プラズモン励起ラマン分光による水酸化フラーレンのCu-CMP加工特性解析
局在型表面プラズモン励起ラマン分光による水酸化フラーレンのCu-CMP加工特性解析
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使用局域表面等离子体激发拉曼光谱分析氢氧化富勒烯的 Cu-CMP 加工特性
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
旭真史,高谷裕浩,林照剛,道畑正岐
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Yasuhiro Takaya;Masaki Michihata;Terutake Hayashi;Ryota Murai;Kazumasa Kano;村井亮太,高谷裕浩,林照剛,道畑正岐;旭真史,高谷裕浩,林照剛,道畑正岐
