薄硬質材と薄軟質材の積層工具を用いた超音波加工による微細溝群の創成
薄硬質材と薄軟質材の積層工具を用いた超音波加工による微細溝群の創成
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使用由薄硬材料和软材料制成的层压工具通过超声波加工创建微槽
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
篠塚 淳
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Hiroyuki Miki;Toshifumi;Sugawara;Maxime Ruet;Kosuke Ito;Takanori Takeno;Julien Fontaine;Michel Belin;Toshiyuki Takagi;篠塚 淳
