Flexible Tactile Sensor Sheet with Thin Si Piezoresistive Cantilevers Peeled off from SOI with PDMS Sheet
Flexible Tactile Sensor Sheet with Thin Si Piezoresistive Cantilevers Peeled off from SOI with PDMS Sheet
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具有薄硅压阻悬臂的柔性触觉传感器片，采用 PDMS 片从 SOI 上剥离
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Kentaro Noda
中科院分区：
文献类型：
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作者：
新澤直明;他;新澤 直明;Kentaro Noda;Kentaro Noda;Kentaro Noda;Kentaro Noda
