Shigeru Imai: "Atomic Layer Epitaxy of Silicon" Materials and Manutacturing Processes. 10. 267-281 (1995)
Shigeru Imai: "Atomic Layer Epitaxy of Silicon" Materials and Manutacturing Processes. 10. 267-281 (1995)
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Shigeru Imai：“硅原子层外延”材料和制造工艺。
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