セラミック基板を用いた高周波キャリア型薄膜磁界センサの高感度化
セラミック基板を用いた高周波キャリア型薄膜磁界センサの高感度化
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采用陶瓷基板的高灵敏度高频载波型薄膜磁场传感器
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
荒井賢一
中科院分区：
文献类型：
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作者：
小島健;薮上信;佐藤弘二;加藤和夫;小澤哲也;小林伸聖;荒井賢一
