K.Sasaki, W.Zhang, S.Kawagoe T.Hata: ""Origin of Oxigen in PZT Films Prepared by Metal-Oxide Combined Target" Proc.of 4th International Symposium on Sputtering and plasma process. 607-612 (1997)
K.Sasaki, W.Zhang, S.Kawagoe T.Hata: ""Origin of Oxigen in PZT Films Prepared by Metal-Oxide Combined Target" Proc.of 4th International Symposium on Sputtering and plasma process. 607-612 (1997)
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K.Sasaki、W.Zhang、S.Kawagoe T.Hata：“金属氧化物组合靶材制备的 PZT 薄膜中氧的起源”第四届国际溅射和等离子体工艺研讨会论文集。607-612 (1997)
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