曲げ試験による薄膜微小素子のヤング率測定と有限要素解析
曲げ試験による薄膜微小素子のヤング率測定と有限要素解析
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使用弯曲试验进行薄膜微元件的杨氏模量测量和有限元分析
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
箕島弘二
中科院分区：
文献类型：
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作者：
高瀬和之;吉田啓之;小瀬裕男;青木尊之;箕島弘二
