Cr-Si合金を用いたSiC溶液成長時の結晶中窒素濃度
Cr-Si合金を用いたSiC溶液成長時の結晶中窒素濃度
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使用 Cr-Si 合金进行 SiC 溶液生长时晶体中的氮浓度
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
柴田浩幸
中科院分区：
文献类型：
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作者：
八野田将吾;川西咲子;柴田浩幸
