多結晶シリコン中の酸素・炭素不純物の結晶育成方向に対する分布の解析
多結晶シリコン中の酸素・炭素不純物の結晶育成方向に対する分布の解析
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多晶硅中氧和碳杂质在晶体生长方向的分布分析
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
米永一郎
中科院分区：
文献类型：
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作者：
沓掛健太朗;伊勢秀彰;大野裕;徳本有紀;森下浩平;中嶋一雄;米永一郎
