Misorientation angle dependence of surface morphology in homoepitaxial diamond film growth at a low CH4/H2 ratio
Misorientation angle dependence of surface morphology in homoepitaxial diamond film growth at a low CH4/H2 ratio
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低 CH4/H2 比下同质外延金刚石薄膜生长中表面形貌的取向差角依赖性
DOI：
10.1016/s0022-0248(01)01801-2
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发表时间：
2002
影响因子：
1.8
通讯作者：
H. Okushi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S. Ri;H. Yoshida;S. Yamanaka;H. Watanabe;D. Takeuchi;H. Okushi
