Development and Application of Tir-Based Chip Based on Mems Thechnology
Development and Application of Tir-Based Chip Based on Mems Thechnology
复制标题
基于MEMS技术的Tir基芯片的开发与应用
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and S. Sugiyama
中科院分区：
文献类型：
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作者：
R. Yokokawa;N. C. H. Le;D. V. Dao;J. C. Wells;and S. Sugiyama
