スパッタ法によるMn_3CuN薄膜の作製と評価

スパッタ法によるMn_3CuN薄膜の作製と評価
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溅射法制备Mn_3CuN薄膜及评价

DOI:
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发表时间:
2011
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
生田博志
生田博志
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
青山真大;竹中康司;生田博志

文献摘要

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