フォトリソグラフィを用いた曲面対応静電チャックの開発
フォトリソグラフィを用いた曲面対応静電チャックの開発
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利用光刻技术开发与曲面兼容的静电吸盘
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
猿渡達彦，Dhelika Radon，Hemthavy Pasomphone，高橋邦夫， 田口良広，齋藤滋規
中科院分区：
文献类型：
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作者：
二階堂翔一，高橋邦夫，齋藤滋規;大善俊明，井口洋二，藤原亮，パソムポーンヘムタビー，高橋邦夫，齊藤滋規;猿渡達彦，Dhelika Radon，Hemthavy Pasomphone，高橋邦夫， 田口良広，齋藤滋規
