H.Yoshiki, Y.Horiike: "Capacitively Coupled Microplasma Source on a chip"Jpn. J. Appl. Phys., Part2. 40. L360-L362 (2001)
H.Yoshiki, Y.Horiike: "Capacitively Coupled Microplasma Source on a chip"Jpn. J. Appl. Phys., Part2. 40. L360-L362 (2001)
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H.Yoshiki、Y.Horiike：“芯片上的电容耦合微等离子体源”Jpn。
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