Model-Based FTIR Reflectometry Measurement System for Deep Trench Structures of DRAM
Model-Based FTIR Reflectometry Measurement System for Deep Trench Structures of DRAM
复制标题
基于模型的 DRAM 深沟槽结构 FTIR 反射测量系统
DOI：
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发表时间：
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影响因子：
0.7
通讯作者：
Shen Hong-wei
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Gu Hua-yong;Zhang Chuan-wei;Liu Shi-yuan;Shen Hong-wei
