Variable Resonant Frequency Selection for Fishbone-Shaped Microelectromechanical system Resonator Based on Multi-Physics Simulation
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基于多物理场仿真的鱼骨形微机电系统谐振器可变谐振频率选择
DOI：
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发表时间：
2013
影响因子：
1.5
通讯作者：
and K. Suzuki
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S. Kuroda;N. Suzuki;H. Tanigawa;and K. Suzuki
