Tadahiro Ohmi: "High Integrity Direct Oxidation / Nitridation at Low Temperatures using Radicals"The 199th Meeting of The Electrochemical Society. 2001-I. 270 (2001)
Tadahiro Ohmi: "High Integrity Direct Oxidation / Nitridation at Low Temperatures using Radicals"The 199th Meeting of The Electrochemical Society. 2001-I. 270 (2001)
复制标题
Tadahiro Ohmi：“使用自由基在低温下进行高完整性直接氧化/氮化”电化学学会第 199 届会议。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
