Improvement of MoS2 film quality by solid-phase crystallization from PVD amorphous MoSx film
Improvement of MoS2 film quality by solid-phase crystallization from PVD amorphous MoSx film
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通过PVD非晶MoSx薄膜固相结晶提高MoS2薄膜质量
DOI：
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发表时间：
2023
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Hitoshi Wakabayashi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Ryo Ono;Shinya Imai;Takamasa Kawanago;Iriya Muneta;Kuniyuki Kakushima;Kazuo Tsutsui;Tetsuya Tatsumi;Shigetaka Tomiya;Hitoshi Wakabayashi
