Relation of the Polymeric Ion Species in Plasma to the Hardness of a-C : H Film Made by PSII & D
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等离子体中聚合离子种类与 a-C 硬度的关系：PSII 制造的 H 膜
DOI：
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发表时间：
2011
影响因子：
5.4
通讯作者：
Noriaki Ikenaga
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T. Mizusaki;K. Kaneko;M. Honma;T. Sakurai;R.O;Noriaki Ikenaga
