COMPOSITE POLYSILICON-PLATINUM LATERAL NANOELECTROMECHANICAL RELAYS
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复制标题
复合多晶硅-铂横向纳米机电继电器
DOI：
10.31438/trf.hh2010.2
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
R. Howe
中科院分区：
文献类型：
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作者：
R. Parsa;S. Chong;N. Patil;K. Akarvardar;J. Provine;Daesung Lee;D. Elata;S. Mitra;H. Wong;R. Howe
