M. Niwano et al.: "UV-Induced Deposition of SiO2 Film from TEOS Spin-Coated on Si" J. Electrochem. Soc.141・6. 1556-1561 (1994)
M. Niwano et al.: "UV-Induced Deposition of SiO2 Film from TEOS Spin-Coated on Si" J. Electrochem. Soc.141・6. 1556-1561 (1994)
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M. Niwano 等人：“硅上旋涂 TEOS 的 SiO2 薄膜的 UV 诱导沉积”J. Electrochem.141・6（1994 年）。
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