Preparation of calcium silicate films by MOCVD
Preparation of calcium silicate films by MOCVD
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MOCVD法制备硅酸钙薄膜
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Takashi Goto
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Shekhar Nath;Rong Tu;Takashi Goto
