K.KIMURA, T.MIYOSHI, Y.TAKAYA, S.TAKAHASHI: "Corrective Planarization Method Using Chemical Mechanical Polishing Assisted by Laser Particle Trapping."Laser Assisted Chemical Mechanical Polishing(Proc.of ASPS 2002 Annual Meet). 37-40 (2002)
K.KIMURA, T.MIYOSHI, Y.TAKAYA, S.TAKAHASHI: "Corrective Planarization Method Using Chemical Mechanical Polishing Assisted by Laser Particle Trapping."Laser Assisted Chemical Mechanical Polishing(Proc.of ASPS 2002 Annual Meet). 37-40 (2002)
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K.KIMURA、T.MIYOSHI、Y.TAKAYA、S.TAKAHASHI：“使用激光粒子捕获辅助化学机械抛光的校正平面化方法。”激光辅助化学机械抛光（ASPS 2002 年年会议程）。
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