Fabrication of Si field emitter array in local vacuum package
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局部真空封装硅场发射体阵列的制作
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
et al.
中科院分区：
文献类型：
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作者：
D.Noda;et al.
