Fabrication of Copper Thin Films Using the Molecular Precursor Method
Fabrication of Copper Thin Films Using the Molecular Precursor Method
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使用分子前体法制备铜薄膜
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
M. Sato
中科院分区：
文献类型：
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作者：
H. Nagai;T. Yamaguchi;T. Onuma;I. Takano;T. Honda;M. Sato
